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      真空相關小知識
      真空相關小知識

      PECVD:等離子體增強化學氣相沉積,指借助微波或者射頻波使腔室內的反應氣體分子電離,形成的高化學活性等離子體在基片表面發生化學反應,沉積成膜。PECVD根據等離子發射源的動作情況可分為動態和靜態。根據設備結構可分為鏈式、團簇式和U型。根據射頻頻率的不同可分為RF-PECVD(13.56MHz)和VHF-PECVD(30-300MHz)HJT設備:導質結電池設備PVD:物理氣相沉積((Physic...

      2021-03-16
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      • 膜厚監測和控制儀使用過程中的注意事項

        膜厚監測和控制儀是采用石英晶體振蕩原理,結合先進的頻率測量技術,進行膜厚的在線監測。主要應用于MBE、OLED熱蒸發、磁控濺射等設備的薄膜制備過程中,對膜層厚度及鍍膜速率進行實時監測。根據實時速率可以輸出PWM模擬量,作為膜厚傳感器使用,與調節儀和蒸發電源配合實現蒸發源的閉環速率控制。膜厚監測和控制儀的特點:1、可以測量多層膜中每一層的厚度2、三維的厚度型貌3、遠程控制和在線測量4、可做150mmor300mm的大范圍的掃描測試5、豐富的材料庫:操作軟件的材料庫帶有大量材料的...

        20232-1
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      • HTC真空蝶閥有哪些你不知道的功能特點?

        HTC真空蝶閥的功能通常是阻絕或是調節流量,其關閉的機構主要為一個圓型片,操作的方式和真空球閥很類似,可以快速的開啟或關閉,蝶閥受到歡迎的主要原因是重量比較輕,就不需要太多的支撐。產品出廠全部用氦質譜檢漏儀檢測,由于堅固的機構設計可以數年連續使用閥門而無須維修.真空蝶閥閥門驅動的方式有手動蝶閥,氣動蝶閥和馬達帶動蝶閥等不同方式,客戶可以視實際的應用來選購適合的真空蝶閥。當真空蝶閥閥門全開后,若見到圓型片是突出于閥體之外時,此圓形片有可能會與連接在蝶閥兩端的管子內部表面干涉,故...

        202212-29
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      • APC鐘擺閥的工作原理及其軟件功能特點

        APC鐘擺閥卷軸機構設計,提供更具競爭力的高可靠性,低成本,緊湊設計的鐘擺閥.此外,光滑的驅動保證低粒子的產生和更快速的啟閉速度.閥體通過可選的加熱套,可以加熱到150ºC.Nor-Cal氣動鐘擺閥不需要拆卸整個閥門即可進行定期檢查,清洗,更換O型圈。APC鐘擺閥軟件功能:1.使用APC軟件可提供便利操作功能通過計算機控制2.設置控制參數的調整:GAIN3.壓力和位置控制模式4.附表測試模式=1cycleschedule5.設置閥打開/關閉速度6.記錄APC硬件/軟...

        202211-16
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      • 真空度分類淺析

        真空度分類淺析真空:理論上是所在容積里面不含有任何的物質,但現實中是不存在真正的或者說絕對的真空的。我們通常把容器內的氣壓低于正常大氣壓(101325Pa)的都稱之為真空狀態。真空度:就是指低于正常大氣壓(101325Pa)的壓力。比較有quanwei的是蘭州物理研究所把低于正常大氣壓的真空狀態分為5種:低真空的范圍是:100000Pa—100Pa。中真空的范圍是:100Pa—0.1Pa。高真空的范圍是:0.1Pa-0.00001Pa(10E-5)。超高真空:0.00001P...

        202210-24
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      • 中國臺灣日揚APC蝶閥使用淺析

        中國臺灣日揚APC蝶閥使用淺析中國臺灣日揚(Htc)自動壓力控制APC蝶閥,是整合真空腔體壓強反饋與馬達控制技術的真空閥門,可以快速調節真空腔體制程壓力,*隔絕真空側和大氣側,APC蝶閥具有外形尺寸小、使用壽命長、易維修等特點,搭配Htc的APC軟件,可以簡單快速地設定并監控制程壓力。APC蝶閥,廣泛應用于半導體、光電產業、太陽能產業、CVD制程等行業,安裝在真空泵組與真空制程腔室之間,通過真空計反饋的電壓值控制蝶閥密封板開度大小,從而達到調節腔室壓力的目的。本次實際使用的蝶...

        202210-24
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      • 日揚矩形閥在分子束外延設備MBE上的應用

        日揚矩形閥在分子束外延設備MBE上的應用國際上比較專業的大型MBE設備供應商主要有,美國的Vecco,法國的Riber,芬蘭的DCA等。這幾家從實驗室用的小型MBE,到工業相關的英寸級別的圓晶MBE都有供應。并且能提供一定的工藝解決方案。一些超高真空表面科學的供應商,因為用戶有進行MBE生長的需要,也會提供MBE解決方案,比如德國/瑞典的ScientaOmicron,德國的Createc,波蘭的PreVac等。其中,ScientaOmicron的產品線更全一些,從10*10m...

        202210-11
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      • 常見的三種真空法蘭規格(CF、KF、ISO)

        常見的三種真空法蘭規格(CF、KF、ISO)1、CF法蘭的英文名是ConflateFlange。它是一種用于超高真空中的法蘭連接,是一種金屬靜密封,可以承受高溫烘烤。2、KF是應用在真空系統中的一種快速安裝拆卸的連接方式,通常是橡膠圈密封。他由以下幾個元件構成:兩個成對稱分布的KF法蘭、O-Ring、定心支架、卡箍。勿需使用別的工具,只要簡單地用手擰動碟形螺母就可以松開或壓緊聯接。3、ISO法蘭和配管可用于從大氣壓到高真空,經常裝拆的各種應用中。一般管子的直徑超過50mm(2...

        202210-11
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      • 超高真空腔體的設計和制造

        超高真空腔體的設計和制造——超高真空腔體是如何煉成的根據定義,超高真空(UHV)壓力要達到10-7mbar,這意味著在這個壓力范圍內,表面放氣對極限壓力變得至關重要。超高真空中流動的氣體是分子式的,平均自由路徑長度超過1公里。如果壓力繼續下降到10-12毫巴,自由路徑長度就會增長到10000公里。留在真空室中的剩余氣體顆粒,就只會與容器壁的相互作用,而不是或者幾乎不是氣體顆粒之間的相互作用。在這個范圍內,真空室的材料和表面變得非常重要。那么,在設計、制造和操作這一壓力范圍的真...

        202210-11
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      • Inficon高精度薄膜電容規(CDG)

        Inficon高精度薄膜電容規(CDG)INFICON陶瓷電容式膜片真空計(CDG)專為要求極其嚴格和準確度要求jigao(0.15%)的真空行業設計。防腐蝕超純氧化鋁材料傳感器,可確保該真空計優越的性能、長期的穩定性、高準確度和多年免維護。精準真空測量范圍從0.1毫乇到2巴。其測量原理是通過測量不同壓力下的陶瓷膜片的變形量測量真空度。INFICON提供規格齊全電容式膜片真空計(CDG),從價格便宜的Porter狀態真空計到shijieshagnzui快的測量時間不到1毫秒S...

        20229-27
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      • 面向工業4.0的真空熱處理解決方案

        面向工業4.0的真空熱處理解決方案在我國制造業升級和雙循環大趨勢下,綠色制造、智能制造和服務型制造對熱處理技術裝備提出更高要求。真空熱處理作為熱處理生產技術領域的先進工藝,具有高質量、低消耗、無污染和高效益的優勢。隨著科學技術的飛速發展和現代生產的迫切需要,空低壓滲碳和氣體滲氮等真空熱處理技術在國內的應用越來越廣泛。第一大板塊是被稱為“工業之母”的工/模具加工。目前,真空熱處理加工已成為工/模具生產中不可替代的先進技術。這一行業體量巨大的板塊,近年來出現了革命性的新趨勢,即新...

        20228-31
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      • 常用的真空單位換算簡述

        常用的真空單位換算簡述在真空狀態下,氣體的壓力值越小則表示氣體越稀薄。表述有多種單位,比如kPa,Torr,mbar等等,那么這些單位之間如何換算呢?1、國際標準單位:帕斯卡真空指壓強(中文習慣上有時候也會說成壓力)低于大氣壓的氣體狀態,在國際標準單位制(SI)中,壓強的單位是帕斯卡,簡稱帕(符號Pascal或Pa),它等于每平方米一牛頓。2、巴和毫巴巴(符號Bar)是一個工程上常用的單位,它被定義為1Bar=100,000Pa。同時常用的還有毫巴(符號mbar)。1mbar...

        20228-26
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      • Inficon新品LDS3000 AQ的氦氣累積泄漏檢測及應用

        Inficon新品LDS3000AQ的氦氣累積泄漏檢測及應用當前,隨著新能源汽車的高速發展,國家對新能源汽車的安全性能提出更高的要求,特別是電池安全方面。英??底鳛閮x器儀表制造商,在真空行業已有超過50年的豐富經驗,可為用戶提供檢漏設備及方案。LDS3000AQ是在簡易累積室中使用合成氣體或氦氣的檢漏儀。LDS3000AQ非常靈敏,能夠檢測低至1.0E-5mbarl/s范圍的泄漏。它在檢測液體泄漏時像氦氣真空泄漏測試一樣可靠,但成本卻像氣密測試一樣低廉。真正的差異化優勢:這款...

        20227-21
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