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INFICON Augent™光學等離子體真空計是一種緊湊型智能真空監測解決方案。體積小巧的Augent™集兩種傳感器技術于一身。進行氣體類型監測時,壓力測量范圍為1 × 10-7至5毫巴;總壓力測量范圍可達1 × 10-7毫巴至大氣壓。Augent™自帶具有保護作用的皮拉尼傳感器,當壓力超出20巴時可以關閉等離子體。在1 × 10-7至5毫巴的測量范圍內,該儀表可用于檢測氧氣、氮氣、氫氣或氬氣等
INFICON增強皮拉尼真空計(PGE) DeviceNet型號采用市場上最新的數字對流增強皮拉尼技術。由于對流的物理性質,這種皮拉尼型產品在100至1000毫巴的測量范圍內可達到更高精度。堅固的真空計和傳感器設計結合多種工廠內置功能,例如明亮、流暢而清晰的OLED顯示屏及集成鍵盤、可選測量單位和2個可編程設定點,使得PGE500DeviceNet型號成為高價值/低擁有成本的選擇。
INFICON 皮拉尼電容膜片式測量儀 (PCG55x) 將 INFICON 皮拉尼技術與陶瓷電容膜片傳感器的優點結合在單一產品中。 在 10 mbar 和大氣壓力之間的測量范圍內,電容隔膜技術不受氣體類型限制,能夠提供高度精確的可靠壓力測量值。PCG55x 還擁有各種功能,可針對條件苛刻的應用進行正確的產品配置。
INFICON Stripe 高速電容式隔膜真空計目前是最快速、高度準確的真空測量儀器。響應時間不到 2 ms,配備 EtherCAT 現場總線接口,開拓了全新的應用領域。成熟的控溫、防腐蝕、超純陶瓷傳感器能長期提供出眾的量程穩定性,而且具有零位穩定性。
NFICON Edge 電容膜片式真空計是專為惡劣制造環境設計的極其準確的真空測量儀表。成熟的控溫、防腐蝕、超純陶瓷傳感器能長期提供出眾的量程穩定性,而且具有零位穩定性。Edge 隨附 INFICON 已獲傳感器屏蔽,用于保護真空計,使其免受不需要的過程副產品的影響。