全金屬角閥

簡要描述：Htc日揚真空設計所有系列全金屬角閥適用于真空排氣系統、高真空應用的抽氣系統、半導體技術與研究系統等。

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廠商性質：代理商
更新時間：2022-09-27
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加工定制	否

全金屬角閥門(Bakeable All-Metal Valve)是屬提升錐閥的一種。當提升錐被頂至頂端時, 閥門內部的結構腔是開放系統且氣體流動不受阻礙。一旦提升錐被移動至閥門底部時,銅墊片之密封墊被壓縮密封閥門,而阻絕氣體的流通達到密封之效果。Htc日揚真空提供之全金屬閥門設計適用于超高真空的環境下,其封止用的墊片是可耐大溫差之金屬墊片。

全金屬角閥的技術參數：

工作溫度范圍：可烘烤至：400℃（開），300℃（閉）。
壓力范圍：1x10- 10 torr 到 760 torr。
全不銹鋼結構。
泄漏率：10 - 10 mbar·l/sec.
封扭矩：
　CR16 First 150kg-cm, Maximum 250kg-cm.
　CR35 First 300kg-cm, Maximum 600kg-cm.
　CR63 First 300kg-cm, Maximum 900 kg-cm.
壽命周期(用于Gasket墊片密封)：
　CR16 : 垂直/水平安裝方向300次
　CR35 : 垂直/水平安裝方向300次
　CR63 : 垂直安裝方向300次水平安裝方向100次
方向：任意位置。

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